名称：深能级瞬态光谱仪（DLTS）
厂家：美国Sula Technologies
型号：DDS-12
深能级瞬态谱（Deep Level Transient Spectroscopy）是半导体领域研究和检测半导体杂质、缺陷深能级、界面态等的重要技术手段。根据半导体P-N 结、金属-半导体接触结构肖特基结的瞬态电容（ΔC～t）技术和深能级瞬态谱（DLTS）的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱，是一种具有极高检测灵敏度(检测灵敏度通常为半导体材料中掺杂济浓度的万分之一)的实验方法，能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描，可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度（即能量）分布的DLTS 谱。集成多种全自动的测量模式及全面的数据分析，可以确定杂质的类型、含量以及随深度的分布。
仪器实验室：东区二教112
仪器负责人：石凯熙
