光刻机

发布时间：2021-06-29

名称：光刻机

厂家：MIDAS

型号：MDA-400M

仪器介绍：配有紫外光源，可实现一种平面微米周期性结构的加工制作。

仪器实验室：108

仪器负责人：汪剑波